TiO2 and Co multilayer thin films via DC magnetron sputtering at room temperature: Interface properties

Título traducido de la contribución: Multicapas de películas delgadas de TiO2 y Co por pulverizado DC de magnetron a temperatura ambiente: Multicapas de TiO2 y Co

Heiddy P. Quiroz, M. Manso-Silván, A. Dussan, Carlos Busó-Rogero, P. Prieto, F. Mesa

Resultado de la investigación: Contribución a una revistaArtículorevisión exhaustiva

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Resumen

En este trabajo, multicapas de películas delgadas de TiO2 y Co fueron preparadas mediante el método de pulverización catódica con magnetrón de DC, en sustratos de (100) GaAs y (100) de Si. La potencia (TiO2 y Co), el tiempo de deposición de las capas y la presión durante la deposición se mantuvieron constantes. De las mediciones de XRD, Raman e IR, se identificaron la formación del rutilo y fases de Co triclínico. Se llevó a cabo un proceso de recocido in situ en todas las muestras y posterior a la etapa de deposición durante 2 h. El sustrato utilizado fue oblea de GaAs y Si, favoreciendo la formación y crecimiento de las fases encontradas. La difusión e interdifusión de las capas en las películas delgadas se determinó a partir de la espectroscopía de retrodispersión de Rutherford (RBS). En particular, se observó el asocio del Co y el Ga después del proceso de recocido según los perfiles de profundidad. Debido interdifusión de las capas, la contribución magnética no es significativa en la bicapa. Las curvas I-V de la bicapa Co/TiO2 mostraron la presencia de
conmutación resistiva. Una correlación entre los parámetros de síntesis y la
las propiedades físicas de las multicapas se reportan aquí.
Título traducido de la contribuciónMulticapas de películas delgadas de TiO2 y Co por pulverizado DC de magnetron a temperatura ambiente: Multicapas de TiO2 y Co
Idioma originalInglés estadounidense
Número de artículo110293
Páginas (desde-hasta)1-6
Número de páginas6
PublicaciónMaterials Characterization
Volumen163
DOI
EstadoPublicada - mar 30 2020

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • Ciencia de los materiales (todo)
  • Física de la materia condensada
  • Mecánica de materiales
  • Ingeniería mecánica

Huella

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